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标准内容
| 标准编号: |
JY/T 0583-2020 |
| 标准名称: |
聚焦离子束系统分析方法通则 |
| 英文名称: |
General analytical rules for the focused ion beam system |
| 标准状态: |
现行 |
| 发布日期: |
2020-09-29 |
| 实施日期: |
2020-12-01 |
| 标准文本格式: |
PDF |
| 标准文本页数: |
13 页 |
JY/T 0583-2020 聚焦离子束系统分析方法通则
General analytical rules for the focused ion beam system
本标准规定了聚焦离子束系统的分析方法原理,分析环境要求,仪器、分析样品、分析步骤、结果报告和安全注意事项。
本标准适用于各类型聚焦离子束系统。
聚焦离子束系统focused ion beam system
采用聚焦的离子束对样品表面进行轰击,并由计算机控制离子束的扫描或加工轨迹、步距、驻留时间和循环次数,以实现对材料的成像、刻蚀、诱导沉积和注入的分析加工系统,简称FIB.
JY∕T 0583-2020 聚焦离子束系统分析方法通则.rar
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发表于 2021-5-7 20:18:59
