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JY/T 0583-2020 聚焦离子束系统分析方法通则

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发表于 2021-5-7 20:18:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
标准内容
标准编号: JY/T 0583-2020
标准名称: 聚焦离子束系统分析方法通则
英文名称: General analytical rules for the focused ion beam system
标准状态: 现行
发布日期: 2020-09-29
实施日期: 2020-12-01
标准文本格式: PDF
标准文本页数: 13 页
JY/T 0583-2020 聚焦离子束系统分析方法通则
General analytical rules for the focused ion beam system
本标准规定了聚焦离子束系统的分析方法原理,分析环境要求,仪器、分析样品、分析步骤、结果报告和安全注意事项。
本标准适用于各类型聚焦离子束系统。

聚焦离子束系统focused ion beam system
采用聚焦的离子束对样品表面进行轰击,并由计算机控制离子束的扫描或加工轨迹、步距、驻留时间和循环次数,以实现对材料的成像、刻蚀、诱导沉积和注入的分析加工系统,简称FIB.
JY∕T 0583-2020 聚焦离子束系统分析方法通则.rar (438.98 KB, 下载次数: 0, 售价: 58 标准资粒)
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